Werth Interferometer Probe WIP

hochgenau messen mit kleinen Sonden

Der WIP ist ein berührungsloser faseroptischer Abstandssensor zur hochgenauen Messung von Geometrie, Form und Rauheit mit Werth Multisensor-Koordinatenmessgeräten. Aufgrund der kleinen Sondengeometrie eignet sich der WIP besonders zur Erfassung schwer zugänglicher geometrischer Merkmale wie kleiner oder tiefer Bohrungen (Einspritzdüsen, Turbinenschaufeln) und Nuten (Läufer von Elektromotoren). Der Sensor ist aufgrund seiner geringen Antastabweichung von 0,25 Mikrometern darüber hinaus auch für die Messung von optischen Bauteilen, lithografischen Strukturen auf Glas oder von Strukturen auf Wafern geeignet. Die Sonden besitzen typischerweise Durchmesser von 0,1 bis 1 mm und Längen zwischen 5 mm und 50 mm. Auf Wunsch können aber auch Spezialsonden gefertigt werden.