meer weten

Nano Focus Sonde NFP

Zeer nauwkeurige confocale sensor

Voordelen

Met de Nano Focus Probe kan het werkstukoppervlak worden vastgelegd als een 3D puntenwolk en kunnen de afmetingen, vorm, positie en ruwheid van microstructuren worden geëvalueerd. Strooilichtonderdrukking maakt betrouwbare 3D meting van de topografie mogelijk, zelfs van reflecterende oppervlakken met sondeerafwijkingen in het submicrometer bereik. De confocale optische sensor levert ook goede resultaten op steile flanken met grote hellingshoeken.

Accepteer "Overig" in de instellingen om deze video te bekijken. Verdere voordelen

Dankzij verschillende lenzen kan de sensor worden aangepast aan de uit te voeren taak
De sensor kan worden gebruikt in het volledige meetvolume van de coördinatenmeetmachine en de meetresultaten kunnen worden gekoppeld in hetzelfde coördinatensysteem
Een totaal oppervlak kan worden berekend uit verschillende aangrenzende gedeeltelijke puntenwolken, bijna zonder verlies van nauwkeurigheid

Technische gegevens

Optisch-axiaal (confocale microscopie)

"In the picture" meting met geïntegreerde Z-meetas 250 µm

Toelaatbare meetafwijking tot 0,15 µm

Door de meetkop met a) verlichting, b) camera, c) pinhole en d) beeldvormingsoptiek ten opzichte van het werkstuk te bewegen e) wordt de intensiteit van de lichtpunten f), g) gevarieerd door defocussering. De overlapping van de onscherpe lichtpunten f) wordt vermeden door grote afstanden g).