Os dutos de resfriamento têm ângulos diferentes em relação à superfície da lâmina. A área de saída é em forma de funil. As propriedades geométricas mais importantes são o diâmetro, a circularidade, o ângulo e a profundidade dos canais de resfriamento, bem como a espessura residual da parede desde a extremidade do canal de resfriamento até a superfície oposta da lâmina. Com tolerâncias de 50 µm a 200 µm, os requisitos para incerteza de medição são bastante baixos. O tempo de medição tem um papel subordinado.
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Aplicações
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- Peças de trabalho para semicondutores
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