Medição rápida da espessura do revestimento com sensor cromático

As espessuras dos revestimentos que podem ser penetradas pela luz desde a faixa visível até a faixa infravermelha podem ser medidas com o sensor Chromatic Focus Point, o sensor Chromatic Focus Line e o multissensor Chromatic Focus Zoom (cabeçote de medição óptica patenteado com processamento de imagem integrado e sensor de distância cromática). Com os sensores de ponto CFP e CFZ, a espessura do revestimento pode ser medida especificamente em diferentes posições na peça de trabalho ou como uma varredura de contorno com uma alta densidade de pontos em toda a superfície da peça de trabalho. A varredura linear do CFL resulta em vantagens de velocidade durante a medição em comparação com o CFP e o CFZ. O volume entre as interfaces também pode ser calculado.
Com o princípio interferométrico, a faixa de espessura do revestimento mensurável está entre 5 µm e 150 µm quando se usa luz visível e entre 30 µm e 10.500 µm quando se usa radiação infravermelha. Com a medição cromática, além das medições "na imagem" na faixa de medição do sensor, ou seja, sem mover os eixos do dispositivo, a faixa de medição pode ser aumentada por medições "na imagem" com o reajuste correspondente dos eixos do dispositivo. Os resultados da medição dependem do índice de refração dos materiais, portanto, ele deve ser conhecido com muita precisão. Outra opção é calibrar a espessura do revestimento diretamente usando outros métodos metrológicos, como Werth Fiber Probe® ou tomografia computadorizada.

As áreas típicas de aplicação para a medição da espessura do revestimento são placas de vidro finas, filmes, lacunas de ar, espessuras de tinta, revestimentos de proteção em componentes eletrônicos, wafers, membranas de alto-falantes ou cateteres de balão.