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Medição rápida da espessura do revestimento com sensor cromático

Medição rápida da espessura do revestimento com sensor cromático

As espessuras das camadas que podem ser penetradas com a luz da faixa visível ao infravermelho podem ser medidas com o sensor de ponto de foco cromático, o sensor de linha de foco cromático e o sensor de linha de foco cromático Zoom multisensor (cabeça de medição ótica patenteada com processamento de imagem integrado e sensor de distância cromático). Com os sensores de ponto CFP e CFZ, a espessura do revestimento pode ser medida especificamente em diferentes posições na peça de trabalho ou como uma varredura de contorno com alta densidade de pontos em toda a superfície da peça de trabalho. A leitura linear da CFL resulta em vantagens de velocidade na medição em comparação com a CFP e CFZ. O volume entre as interfaces também pode ser calculado.
Com o princípio interferométrico, a faixa de espessura da camada mensurável está entre 5 µm e 150 µm quando se usa luz visível, e entre 30 µm e 10 500 µm quando se usa radiação infravermelha. Com a medição cromática, além das medições "na imagem" na faixa de medição do sensor, ou seja, sem mover os eixos do dispositivo, a faixa de medição pode ser aumentada por medições "na imagem" com o reajuste correspondente dos eixos do dispositivo. Os resultados das medições dependem do índice de refração dos materiais, portanto, isto deve ser conhecido com muita precisão. Outra possibilidade é a calibração direta da espessura do revestimento com a ajuda de outros métodos metrológicos, tais como Werth Fiber Probe® ou tomografia computadorizada.

As áreas típicas de aplicação para a medição da espessura do revestimento são placas de vidro finas, folhas de alumínio, folhas de ar, espessuras de tinta, revestimentos de proteção em componentes eletrônicos, wafers, membranas de alto-falantes ou cateteres de balão.

Medição rápida da espessura do revestimento com sensor cromático
Medição cromática da espessura da camada com dois máximos de intensidade para a luz refletida da interface superior (verde) e inferior (vermelho)
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