– Sensores ópticos táteis WFP 2D

Graças à avaliação óptica direta da posição do elemento sensor, esses são os apalpadores mais precisos do mercado. Como o eixo de vidro é usado apenas para posicionamento, é possível obter os menores diâmetros de agulha de 20 µm a 500 µm. < Com o eixo flexível, as forças de apalpação são insignificantes (até 0,001 N). Como resultado, a microssonda mais bem-sucedida do mundo também pode medir peças de trabalho sensíveis e facilmente deformáveis.

Um sensor de processamento de imagem (a) câmera, b) óptica de imagem) é usado para medir a deflexão ΔL da esfera da sonda d) iluminada por um LED c) quando a peça de trabalho e) é movida. Na deflexão do alvo, a posição exata da esfera de escaneamento é sobreposta às coordenadas dos sistemas de escala do dispositivo e salva como um ponto de medição ou usada para o processo de escaneamento. Com apalpadores de esfera dupla f), obtém-se uma profundidade de imersão maior durante o apalpamento em comparação com os apalpadores de esfera única g).