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Nano Focus Probe NFP

Sensor confocal de alta precisão

Vantagens

Com a sonda Nano Focus Probe, a superfície da peça pode ser capturada como uma nuvem de pontos 3D e a dimensão, forma, posição e rugosidade nas microestruturas podem ser avaliadas. A supressão de luz Stray permite a medição 3D confiável da topografia mesmo de superfícies refletoras com desvios de sondagem na faixa de submicrometreza. O sensor óptico confocal também proporciona bons resultados em flancos íngremes com grandes ângulos de inclinação.

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Lentes diferentes permitem que o sensor seja adaptado à tarefa em mãos
O sensor pode ser usado em todo o volume de medição da máquina de medição por coordenadas e os resultados da medição podem ser ligados no mesmo sistema de coordenadas
Uma superfície total pode ser calculada a partir de várias nuvens de pontos parciais adjacentes quase sem perda de precisão

Dados técnicos

Óptico-axial (microscopia confocal)

Medição "In the picture" com eixo de medição Z integrado 250 µm

Desvio de sondagem admissível até 0,15 µm

Ao mover o cabeçote de medição com a) iluminação, b) câmera, c) abertura de pinhole e d) óptica de imagem em relação à peça de trabalho e), a intensidade dos pontos de luz f), g) varia de acordo com a desfocalização. A sobreposição dos pontos de luz desfocados f) é evitada com o uso de grandes distâncias g). Muitos pontos de medição na superfície da peça de trabalho são determinados simultaneamente com base na curva de intensidade