Die wichtigste geometrische Eigenschaft ist die Ebenheit der gesamten Waferfläche.
Ausserdem werden Wafer auf Einschlüsse und Oberflächenbeschädigungen geprüft. Die Anforderungen an die Messgeschwindigkeit sind für die Prozessüberwachung teilweise sehr hoch.
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Anwendungen
- 3D-Freiformwerkstücke
- Extrudierte Werkstücke
- Formen
- Halbleiter-Werkstücke
- Lithografische Strukturen
- Metall-Kunststoff-Verbundwerkstücke
- Prismatische Werkstücke
- Stanz-Biege-Teile
- Verpackungen
- Welle-Nabe-Verbindungen
- Wellen und Achsen
- Werkstücke mit Mikromerkmalen
- Werkstücke mit optischen Funktionsflächen
- Werkzeuge mit geometrisch bestimmten Schneiden
- Werkzeuge mit geometrisch unbestimmten Schneiden
- Zahnräder
- Zylindrische Werkstücke
- Branchen
- Produkte
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