Sub-Mikrofokus-Transmission mit separatem Generator

Durch Einsatz eines Hochleistungstransmissionstargets mit separater Kühlung und Nachfokussierung des Elektronenstrahles bieten diese Quellen Brennfleckgrössen im Sub-Mikrometer-Bereich. Auswertungen von Mikrostrukturen wie Partikeln, Fasern, Schichtdicken, Mikrorissen oder Lunkern stellen kein Problem dar. Mit Beschleunigungsspannungen bis zu 240 kV können auch kleinere Metallwerkstücke mikrometergenau tomografiert und ausgewertet werden.