尺寸、形状和位置偏差的标准公差范围为20 µm至100 µm,因此要求测量不确定度在几微米的范围内。对于过程监控来说,对测量速度的要求有时非常高。特殊功能是毛刺测量和吹气孔检查,以及在3D打印和工具制造中进行修正的可能性。一个重要的方法是测量的工件和CAD规格之间的比较。