通过纳米焦点探针，工件表面可以被捕获为三维点云，并可以评估微结构的尺寸、形状、位置和粗糙度。杂散光抑制使可靠的三维地形测量成为可能，即使是探测偏差在亚微米范围内的反射表面。共焦光学传感器在大倾角的陡峭侧翼上也能提供良好的结果。
通过纳米焦点探针，工件表面可以被捕获为三维点云，并可以评估微结构的尺寸、形状、位置和粗糙度。杂散光抑制使可靠的三维地形测量成为可能，即使是探测偏差在亚微米范围内的反射表面。共焦光学传感器在大倾角的陡峭侧翼上也能提供良好的结果。
光轴(共聚焦显微镜)
"图中 "测量，集成了Z-测量轴 250 µm
允许的探测偏差达0,15 µm
通过移动带有a)照明、b)相机、c)针孔和d)成像光学器件的测量头，相对于工件e)，光点f)、g)的强度通过散焦而变化。通过大的距离g)避免了失焦光点f)的重叠。
