通过在光轴方向上移动镜头，图像的清晰度（对比度）在图像的某个部分被连续评估。在物体平面与焦平面重合的地方，对比度达到最大。然后传感器被相应地定位到这个计算的位置。该程序的准确性主要取决于镜头的景深。
通过在光轴方向上移动镜头，图像的清晰度（对比度）在图像的某个部分被连续评估。在物体平面与焦平面重合的地方，对比度达到最大。然后传感器被相应地定位到这个计算的位置。该程序的准确性主要取决于镜头的景深。
光轴(焦点变化)
允许的探测偏差达0,25 µm
通过图像处理传感器的硬件（a）相机，b）成像光学器件，c）目标和d）透射光照明），在光轴上的不同位置拍摄图像。根据对比度梯度，工件表面的位置被确定。
