dozvědět se více

Nano Focus Probe NFP

Vysoce přesný konfokální senzor

Výhody

Pomocí sondy Nano Focus Probe lze zachytit povrch obrobku jako 3D mračno bodů a vyhodnotit rozměry, tvar, polohu a drsnost mikrostruktur. Potlačení rozptýleného světla umožňuje spolehlivé 3D měření topografie i reflexních povrchů s odchylkami měření v submikrometrovém rozsahu. Konfokální optický senzor poskytuje dobré výsledky i na strmých svazích s velkým úhlem sklonu.

Chcete-li toto video sledovat, přijměte v nastavení možnost "Jiné". Další výhody

Různé objektivy umožňují přizpůsobit snímač danému úkolu
Snímač lze použít v celém měřicím objemu souřadnicového měřicího stroje a výsledky měření lze propojit ve stejném souřadnicovém systému
Celkový povrch lze vypočítat z několika sousedících dílčích mračen bodů téměř bez ztráty přesnosti

Technické údaje

Opticko-osová (konfokální mikroskopie)

Měření "v obraze" s integrovanou osou měření Z 250 µm

Přípustná odchylka měření do 0,15 µm

Pohybem měřicí hlavy s a) osvětlením, b) kamerou, c) dírkovou clonou a d) zobrazovací optikou vzhledem k obrobku e) se mění intenzita světelných bodů f), g) rozostřením. Překrývání rozostřených světelných bodů f) se zabrání použitím velkých vzdáleností g). Na základě křivky intenzity se současně určí mnoho měřicích bodů na povrchu obrobku.