dozvědět se více

Nano Focus Probe NFP

Vysoce přesný konfokální senzor

Výhody

Pomocí sondy Nano Focus Probe lze zachytit povrch obrobku jako 3D mračno bodů a vyhodnotit rozměry, tvar, polohu a drsnost mikrostruktur. Potlačení rozptýleného světla umožňuje spolehlivé 3D měření topografie i reflexních povrchů s odchylkami měření v submikrometrovém rozsahu. Konfokální optický senzor poskytuje dobré výsledky i na strmých svazích s velkým úhlem sklonu.

Chcete-li sledovat toto video, přijměte v nastavení"funkční soubory cookie". Další výhody

Různé objektivy umožňují přizpůsobit snímač danému úkolu
Snímač lze použít v celém měřicím objemu souřadnicového měřicího stroje a výsledky měření lze propojit ve stejném souřadnicovém systému
Celkový povrch lze vypočítat z několika sousedících dílčích mračen bodů téměř bez ztráty přesnosti

Technické údaje

Opticko-osová (konfokální mikroskopie)

Měření "v obraze" s integrovanou osou měření Z 250 µm

Přípustná odchylka měření do 0,15 µm

Pohybem měřicí hlavy s a) osvětlením, b) kamerou, c) dírkovou komorou a d) zobrazovací optikou vzhledem k obrobku e) se mění intenzita světelných bodů f), g) rozostřením. Překrývání rozostřených světelných bodů f) se zabrání velkými vzdálenostmi g).