Das Werth-Multisensor-Messkonzept bietet sich für die Messung von Werkstücken aus der Elektronik-, Feinmechanik- und Optik-Industrie an. Ein Beispiel ist die Messung von Lochplatten aus Glas, die im kompletten Nutzen in einer Größe von ca. 600 mm × 600 mm mit bis zu 1 Million extrem kleiner Löcher (Through Glass Vias – TGV) hergestellt werden. Die einzelnen Muster oder auch Pattern werden anschließend separiert, metallisch durchkontaktiert und für das sog. advanced Packaging, also das Stapeln von Schaltungen in der Chipherstellung benutzt. An den Bohrungen ist eine 100%-Messung der Position, des Durchmessers (≤ 100 µm) sowie der Form und Orientierung erforderlich. Außerdem müssen die Ebenheit und Dicke der Glasplatte bestimmt werden. Messtechnische Herausforderungen liegen in der notwendigen Strukturauflösung zur Erfassung der Bohrungsdurchmesser und -form bei einer sehr großen Anzahl an Bohrungen, für deren Erfassung eine erheblich höhere Messgeschwindigkeit als bei konventioneller Bildverarbeitung erforderlich ist.
Der Werth VideoCheck® HA ist speziell für die Messung von Präzisionswerkstücken mit Toleranzen im Mikrometerbereich konzipiert. Die patentierte Betriebsart Rasterscanning HD ermöglicht die automatische Erfassung großer Bereiche mit kleinen Geometrieelementen bei hoher Genauigkeit und erfüllt somit die Anforderungen hinsichtlich Auflösung und Messgeschwindigkeit in einzigartiger Weise. Es entsteht ein Gesamtbild mit bis zu 20.000 Megapixel Auflösung. Position, Durchmesser und Form für bis zu 1 Million Bohrungen können in der Serie in weniger als 15 Minuten gemessen und ausgewertet werden. Damit ist Rasterscanning HD um ein Vielfaches schneller als konventionelle Messmethoden.
Werth bietet wohl die weltweit größte Sensorauswahl, die vollständige Messungen mit bisher unerreichter Geschwindigkeit ermöglicht. Der patentierte Werth Fiber Probe® ist speziell für die Messung der Formabweichung auf verschiedenen Höhen der Bohrung ausgelegt und gilt als weltweit erfolgreichster Mikrotaster mit einer gläsernen Tastkugel (Durchmesser ≥ 20 µm). Darüber hinaus kommt der Chromatic Focus Point Sensor zum Einsatz, der zur Messung von Dicke und Ebenheit der Glasplatten (Glasdicke ≥ 200 µm) dient. Die Abstandsbestimmung erfolgt über die Farbe des reflektierten Lichtes, was Messungen auch an spiegelnden und transparenten Oberflächen sowie bei Schichtdickenmessungen ermöglicht.
