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Nano Focus Probe NFP

Hochgenauer konfokaler Sensor

Vorteile

Hochgenaue Topografiemessungen unabhängig vom Reflexionsgrad

Mit dem Nano Focus Probe kann die Werkstückoberfläche als 3D-Punktewolke erfasst und Maß, Form, Lage und Rauheit an Mikrostrukturen ausgewertet werden. Die Streulichtunterdrückung ermöglicht die sichere 3D-Messung der Topografie auch spiegelnder Oberflächen mit Antastabweichungen im Submikrometerbereich. Auch an steilen Flanken mit großen Neigungswinkeln liefert der konfokale optische Sensor gute Ergebnisse.

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Weitere Vorteile

  • Verschiedene Objektive erlauben die Anpassung des Sensors an die jeweilige Aufgabenstellung
  • Der Sensor lässt sich im gesamten Messvolumen des Koordinatenmessgerätes einsetzen und die Messergebnisse im selben Koordinatensystem verknüpfen
  • Aus mehreren nebeneinander liegenden Teilpunktewolken kann nahezu ohne Genauigkeitsverlust eine Gesamtoberfläche berechnet werden
Technische Daten
Technische Daten

Sensorprinzip

Optisch-axial (konfokale Mikroskopie)

Messbereich

"Im Bild"-Messung mit integrierter Z-Messachse 250 µm

Genauigkeit

Zulässige Antastabweichung bis 0,15 µm

Funktionsweise

Durch Bewegen des Messkopfs mit a) Beleuchtung, b) Kamera, c) Lochblende und d) Abbildungsoptik relativ zum Werkstück e) wird die Intensität der Lichtpunkte f), g) durch Defokussierung variiert. Die Überlappung der defokussierten Lichtpunkte f) vermeidet man durch große Abstände g).

Funktionsweise
Kompatible Sensorprinzipien
Werth Bildverarbeitung BV
Sensor
Werth Bildverarbeitung BV
Autofokussensor
Sensor
Autofokussensor
Geräte und Zubehör
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Weitere Ausstattung zum Nano Focus Probe NFP

VideoCheck® S
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Anwendungen

Werkstückbeispiele Nano Focus Probe NFP

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