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Nano Focus Probe NFP

Hochgenauer konfokaler Sensor

Vorteile

Mit dem Nano Focus Probe kann die Werkstückoberfläche als 3D-Punktewolke erfasst und Maß, Form, Lage und Rauheit an Mikrostrukturen ausgewertet werden. Die Streulichtunterdrückung ermöglicht die sichere 3D-Messung der Topografie auch spiegelnder Oberflächen mit Antastabweichungen im Submikrometerbereich. Auch an steilen Flanken mit großen Neigungswinkeln liefert der konfokale optische Sensor gute Ergebnisse.

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Verschiedene Objektive erlauben die Anpassung des Sensors an die jeweilige Aufgabenstellung
Der Sensor lässt sich im gesamten Messvolumen des Koordinatenmessgerätes einsetzen und die Messergebnisse im selben Koordinatensystem verknüpfen
Aus mehreren nebeneinander liegenden Teilpunktewolken kann nahezu ohne Genauigkeitsverlust eine Gesamtoberfläche berechnet werden

Technische Daten

Optisch-axial (konfokale Mikroskopie)

Im Bild-Messung mit integrierter Z-Messachse 250 µm

Zulässige Antastabweichung bis 0,15 µm

Durch Bewegen des Messkopfs mit a) Beleuchtung, b) Kamera, c) Lochblende und d) Abbildungsoptik relativ zum Werkstück e) wird die Intensität der Lichtpunkte f), g) durch Defokussierung variiert. Die Überlappung der defokussierten Lichtpunkte f) vermeidet man durch große Abstände g). Auf der Basis des Intensitätsverlaufs werden viele Messpunkte auf der Werkstückoberfläche gleichzeitig bestimmt