Estructuras litográficas

La litografía es uno de los métodos centrales para la fabricación de circuitos integrados y otros productos. Se miden las distancias, los radios, los ángulos y las desviaciones de forma y posición. Los requisitos de la incertidumbre de la medición están en el rango medio y alto. Las exigencias de tiempo de medición son elevadas, ya que las mediciones suelen realizarse durante el proceso.