Las propiedades geométricas importantes son el patrón de agujeros y las distancias entre las estructuras. Con tolerancias de unas pocas décimas de milímetro, los requisitos de incertidumbre en las mediciones están en el rango bajo. Las exigencias de tiempo de medición suelen ser muy altas.
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Aplicaciones
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- Piezas de trabajo de semiconductores
- Estructuras litográficas
- Piezas compuestas de metal y plástico
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