Le plus important propriété géométrique est le planéité de toute la surface du wafer.
En outre, disques de wafers est contrôlé pour les inclusions et les dommages de surface. Les exigences posées à vitesse de mesure sont parfois très élevées pour la surveillance des processus.
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Applications
- Pièces de forme libre 3D
- Pièces extrudées
- Moules
- Pièces à usiner pour semi-conducteurs
- Structures lithographiques
- Pièces composites métal-plastique
- Pièces à usiner prismatiques
- Pièces découpées et pliées
- Emballages
- Arbre-Connexions de moyeux
- Arbres et axes
- Pièces à usiner avec microcaractéristiques
- Pièces avec surfaces optiques fonctionnelles
- Outils avec des arêtes de coupe géométriquement déterminées
- Outils à tranchants géométriquement indéterminés
- Roues dentées
- Pièces cylindriques
- Branches
- Produits
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Service
- Services de programmation
- Analyse de capabilité des instruments de mesure, aptitude du processus de mesure et traçabilité
- Services de mesure avec multisensoriel ou tomographie assistée par ordinateur
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