Avec les capteurs à triangulation traditionnels, le site résultat de la mesure dépend fortement de la structure et de l'angle d'inclinaison de la surface. Cela conduit à des incertitudes de mesure relativement importantes qui ne permettent d'utiliser le capteur que pour des tâches de mesure moins précises. De meilleurs résultats sont obtenus avec le capteur laser de Foucault WLP (brevet) intégré dans le trajet du faisceau du zoom Werth. Celui-ci est particulièrement adapté aux mesures rapides de planéité de surfaces inclinées jusqu'à 80° ou présentant une courbure correspondante.
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