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Strutture litografiche

Misurazione strutture litografiche

La litografia è uno dei metodi centrali per la produzione di circuiti integrati e altri prodotti. Si misurano le distanze, raggi, angolo così come modulo e le deviazioni di posizione. I requisiti per l'incertezza di misura sono nella gamma medio-alta area. I requisiti per il tempo di misurazione sono elevati, dato che le misurazioni vengono solitamente effettuate durante il processo.

Standard di vetro
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Schede di circuiti stampati
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