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Strutture litografiche

Misurazione Strutture litografiche

La litografia è uno dei metodi principali per la produzione di circuiti integrati e altri prodotti. Vengono misurate le distanze, raggi, angolo e modulo e le deviazioni di posizione. I requisiti per l'incertezza di misura sono nella gamma medio-alta area. I requisiti in termini di tempo di misura sono elevati, poiché le misure vengono solitamente effettuate durante il processo.

Standard di vetro
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Schede a circuito stampato
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