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Fette di wafer - Wafer rotondi di silicio che servono come base per i circuiti integrati

Fette di wafer

Wafer rotondi di silicio che servono come base per i circuiti integrati

Il più importante proprietà geometrica è il planarità dell'intera superficie del wafer.
Inoltre, fette di wafer è ispezionato per le inclusioni e i danni superficiali. I requisiti di velocità di misurazione sono a volte molto alti per il monitoraggio del processo.

ScopeCheck® S

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Il macchina di misura a coordinate multisensore per fiere piccoli pezzi
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Werth Image Processing BV
Sensore
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Punto di fuoco cromatico sensore CFP
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Zoom con messa a fuoco cromatica CFZ
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Accessori
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Accessori
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Asse di retrazione del caricatore
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Costruzione stabile con portale fisso per un economico controllo della produzione con basse incertezze di misura
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Punto di fuoco cromatico sensore CFP
Sensore
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Zoom con messa a fuoco cromatica CFZ
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Telecentrico obiettivo con ingrandimento costante
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Asse di retrazione del caricatore
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VideoCheck® S

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L'esatto macchina di misura a coordinate multisensore per il misurazione di pezzi più piccoli
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Sensore
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Zoom con messa a fuoco cromatica CFZ
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Linea di messa a fuoco cromatica sensore CFL
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Asse di retrazione del caricatore
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Il preciso macchina di misura a coordinate multisensore per misurazione pezzi di grandi dimensioni, con diversi assi Z su richiesta
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Sensore
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Punto di fuoco cromatico sensore CFP
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Zoom con messa a fuoco cromatica CFZ
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Sonda Nano Focus NFP
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Asse di retrazione del caricatore
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L'alta precisione macchina di misura a coordinate multisensore per misurazione pezzi di grandi dimensioni, con diversi assi Z su richiesta
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Asse di retrazione del caricatore
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VideoCheck® UA

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L'ultra-preciso macchina di misura a coordinate multisensore
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Telecentrico obiettivo con ingrandimento costante
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Asse di retrazione del caricatore
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