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Fette di wafer - Fogli rotondi di silicio che servono come base per i circuiti integrati

Fette di wafer

Fogli rotondi di silicio che servono come base per i circuiti integrati

Il più importante proprietà geometrica è il sito planarità dell'intera superficie del wafer.
Inoltre, fette di wafer viene ispezionato per verificare la presenza di inclusioni e danni superficiali. I requisiti del sito velocità di misurazione sono talvolta molto elevati per il monitoraggio dei processi.

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