Estruturas litográficas

A litografia é um dos métodos centrais para o fabrico de circuitos integrados e outros produtos. As distâncias, raios, ângulos, assim como os desvios de forma e posição são medidos. Os requisitos de incerteza de medição situam-se na gama média a alta. As exigências sobre o tempo de medição são elevadas, uma vez que as medições são geralmente efectuadas durante o processo.