Sensores ópticos tácteis – WFP 2D

Graças à avaliação ótica direta da posição do elemento sensor, estas são as sondas mais precisas do mercado. Uma vez que o veio de vidro só é utilizado para o posicionamento, é possível realizar os diâmetros mais pequenos da haste de 20 µm a 500 µm. < Com o veio flexível, as forças de apalpação são negligenciáveis (até 0,001 N). Como resultado, a microssonda mais bem sucedida do mundo também pode medir peças sensíveis e facilmente deformáveis.

Um sensor de processamento de imagem (a) câmara, b) ótica de imagem) é utilizado para medir a deflexão ΔL da esfera da sonda d) iluminada por um LED c) quando a peça e) é movida. Na deflexão do alvo, a posição exacta da esfera de leitura é sobreposta às coordenadas dos sistemas de escala do aparelho e guardada como ponto de medição ou utilizada para o processo de leitura. Com os apalpadores de esfera dupla f), consegue-se uma maior profundidade de imersão durante a apalpação, em comparação com os apalpadores de esfera simples g).