Werkstukken met optisch functionele oppervlakken

De belangrijkste geometrische eigenschap is de oppervlaktevorm van de optische functionele oppervlakken. Door de toleranties in het lagere µm-bereik zijn de eisen aan de meetonzekerheid zeer hoog. De eisen die aan de meettijd worden gesteld, zijn daarentegen vrij laag. Contactmeetmethoden zijn meestal niet geschikt omdat de te inspecteren oppervlakken zeer gevoelig zijn.