Lithografische structuren

Lithografie is een van de centrale methoden voor de vervaardiging van geïntegreerde schakelingen en andere producten. Afstanden, stralen, hoeken en vorm- en positieafwijkingen worden gemeten. De eisen ten aanzien van de meetonzekerheid liggen in het middelmatige tot hoge bereik. De eisen aan de meettijd zijn hoog, aangezien de metingen gewoonlijk tijdens het proces worden uitgevoerd.