在医疗技术、计量学、生产技术、娱乐和通信行业的许多系统解决方案中，都可以看到透镜、棱镜和反射镜等光学元件。为了具体影响电磁波的传播，透明表面的高精度是必要的，通常在纳米范围内。
高精度的多传感器技术可以实现，例如，用微型传感器检查手机球面和非球面镜片的形状偏差，或用计算机断层扫描检查内窥镜的微透镜的安装情况。
