Misurazione rapida dello spessore del rivestimento tramite sensore cromatico

Gli spessori dei rivestimenti che possono essere penetrati dalla luce dal campo visibile al campo dell'infrarosso possono essere misurati grazie al sensore di punto Chromatic Focus Point, al sensore di linea Chromatic Focus Line e al multisensore Chromatic Focus Zoom (testa di misura ottica brevettata con elaborazione dell'immagine integrata e sensore di distanza cromatica). Con i sensori di punto CFP e CFZ, lo spessore del rivestimento può essere misurato in modo mirato sul pezzo da diverse posizioni o sull'intera superficie del pezzo tramite una scansione del contorno con un’alta densità di punti. Il rilevamento lineare del CFL comporta alcuni vantaggi nella velocità di misurazione rispetto al CFP e al CFZ. Si può anche calcolare il volume tra i bordi del materiale.
Con il principio interferometrico, il campo di spessore del rivestimento misurabile è compreso tra 5 μm e 150 μm quando si usa la luce visibile, e tra 30 μm e 10500 μm quando si usa la radiazione infrarossa. Con la misurazione cromatica, oltre alle misurazioni "nell'immagine" nel campo di misurazione del sensore, ovvero senza movimento degli assi della macchina, il campo di misurazione può essere ampliato da misurazioni "sull'immagine" con corrispondente riaggiustamento degli assi della macchina. I risultati della misurazione dipendono dall'indice di rifrazione dei materiali, quindi questo deve essere conosciuto con precisione. Un'altra possibilità è la calibrazione diretta dello spessore del rivestimento tramite altri metodi metrologici, come il Werth Fiber Probe® o la tomografia computerizzata.

Le applicazioni tipiche usate nella misurazione dello spessore del rivestimento sono lastre di vetro sottili, lamine, traferri, spessori di vernici, rivestimenti protettivi su componenti elettronici, wafer, membrane di altoparlanti o cateteri a palloncino.