Strutture litografiche

La litografia è uno dei metodi principali per la produzione di circuiti integrati e altri prodotti. Vengono misurate le distanze, raggi, angolo e modulo e le deviazioni di posizione. I requisiti per l'incertezza di misura sono di fascia medio-alta area. I tempi di misurazione sono elevati, poiché le misure vengono solitamente eseguite durante il processo.