Structures lithographiques

La lithographie est l'une des principales méthodes de fabrication de circuits intégrés et d'autres produits. On mesure les distances, rayons, angle ainsi que les écarts de forme et de position. Les exigences en matière d'incertitude de mesure sont moyennes à élevées domaine. Les exigences en matière de temps de mesure sont élevées, car la mesure s'effectue généralement en cours de processus.