Struktury litograficzne

Litografia jest jedną z centralnych metod wytwarzania układów scalonych i innych produktów. Mierzone są odległości, promienie, kąty, jak również odchylenia kształtu i położenia. Wymagania dotyczące niepewności pomiaru są w zakresie średnim do wysokiego. Wymagania dotyczące czasu pomiaru są wysokie, ponieważ pomiar odbywa się zazwyczaj w trakcie procesu.