Le tube submicrofocus augmente d'un ordre de grandeur le résolution du système de mesure à deux tubes, on obtient un résolution de moins d'un micromètre. Le tube microfocus de 300 kV permet de mesurer mesure pièces grandes ou denses avec des résolutions de domaine quelques microns. Le appareil convient ainsi à des applications dont les exigences en matière de résolution varient fortement, ainsi qu'à des pièces de tailles et de matériaux différents. Presque toutes les tâches de mesure de tomographie assistée par ordinateur peuvent désormais être résolues avec un seul appareil. En combinant avec Region-of-Interest-tomographie assistée par ordinateur (ROI-CT), il est également possible de mesurer plusieurs détails petit sur des pièces relativement grandes (brevet). Pour ce faire, le CT d'aperçu est mesuré avec le tube microfocus, le ROI avec le tube submicrofocus à un grossissement plus élevé.
Un duo performant
Le tube microfocus atteint des tensions allant jusqu'à 300 kV pour une puissance maximale de 80 W et des tailles de tache focale de quelques micromètres. Le site cible de transmission permet d'obtenir de telles petites tailles de tache focale, même à puissance maximale. Il est ainsi possible de mesurer rapidement et avec une grande résolution des pièces de grande taille ou denses.
Deux tubessystème de mesure: tube microfocus (en haut) et tube submicrofocus (en bas)
Le tube submicrofocus dispose d'une tension maximale de 160 kV et d'une puissance allant jusqu'à 50 W. Grâce à une unité de focalisation supplémentaire, il atteint une taille du foyer du faisceau minimale de 0,5 μm. Le site grandeur caractéristique d'un appareil de tomodensitométrie indique souvent le site résolution dans image radiographique, qui ne correspond généralement pas au site résolution en volume, ou n'indique qu'une taille de voxel qui peut être choisie presque aussi petite que l'on veut par calcul. Dans les deux cas, il ne s'agit pas d'une mesure de la taille de la structure qui sera effectivement résolue. Avec le tube submicrofocus de Werth, la résolution est de 0,5 μm dans image radiographique.
Image radiographique d'un étalon de structure avec une largeur de ligne de 0,5 μm : la structure est résolue
Le résolution effectif d'une machine à mesurer tridimensionnelle CT résulte principalement de l'effet combiné (convolution) des fonctions de résolution de foyer du faisceau, axe de rotation et du détecteur, compte tenu du grossissement. C'est pourquoi le appareil est également équipé d'un axe de rotation de haute précision, dont les ecarts de concentricité sont inférieurs à 0,2 μm. Ainsi, la résolution pratique de la structure volumique du système de mesure à deux tubes avec tube submicrofocus est d'environ 1 μm. Les applications du tube submicrofocus sont par exemple les mesures de la structure fibreuse des matériaux filtrants, le mesure de la profondeur de pénétration des particules avec représentation par code couleur et le mesure de la taille des particules.