尺寸、形状和位置偏差的标准公差范围为 20 µm 至 100 µm,因此需要几微米范围内的测量不确定度。过程监控对测量速度的要求有时非常高。特殊功能包括毛刺测量和收缩测试,以及在 3D 打印和工具制造中进行校正的可能性。一个重要的方法是将测量工件与 CAD 规格进行比较。