这种获得专利的触觉-光学三维微探针将成熟的Werth Fasertaster®技术的应用范围扩大到三维测量。与基于机械-电气原理的传统微探针相比，它有许多优点。WFP®对破损的敏感度更低，提供更小的探针球直径（低至20微米），探测力低很多倍（低于千分之一牛顿）。Werth Fiber Probe® ，这也是Werth在测量微观几何形状方面的特殊专长的一部分。
这种获得专利的触觉-光学三维微探针将成熟的Werth Fasertaster®技术的应用范围扩大到三维测量。与基于机械-电气原理的传统微探针相比，它有许多优点。WFP®对破损的敏感度更低，提供更小的探针球直径（低至20微米），探测力低很多倍（低于千分之一牛顿）。Werth Fiber Probe® ，这也是Werth在测量微观几何形状方面的特殊专长的一部分。
触觉-光学
允许的探测偏差达0,25 µm
通过一个图像处理传感器（a）照相机，b）用于照明的LED）和一个光学距离传感器c），当工件e）移动时，被照明的探针球d）的水平和垂直偏移被测量。在目标偏移中，扫描球的准确位置与设备的刻度系统的坐标叠加，并作为测量点存储或用于扫描过程。带柔性夹持元件g)的交换单元f)也可使用双球探针h)。
