mesure de rotondité et rectitude sur machine à mesurer tridimensionnelle avec une précision encore jamais atteinte. Le mode de fonctionnement breveté Rasterscanning HD et le nouveau RotaryScan HD sont notamment utilisés à cet effet. Grâce à un objectif télécentrique de haute précision, à un axe de rotation sur coussin d'air avec une contrepointe également sur coussin d'air et à un nouveau procédure de correction, on obtient des écarts de mesure minimes dans le domaine de 200 nm pour la détection fiable du processus des tolérances de circularité jusqu'à 2 μm.