misurazione di rotondità e rettilineità a macchina di misura a coordinate con una precisione senza pari. In particolare, vengono utilizzate la modalità di scansione raster HD brevettata e il nuovo RotaryScan HD. Un lente telecentrica ad alta precisione, un asse di rotazione cuscinetto d'aria con una contropunta a cuscinetto d'aria e un nuovo procedura di correzione raggiungono deviazioni di misura minime in area 200 nm per il rilevamento affidabile di tolleranze di rotondità fino a 2 μm.