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Estruturas litográficas

Medição de estruturas litográficas

A litografia é um dos métodos centrais para a fabricação de circuitos integrados e outros produtos. As distâncias, raios, ângulos, assim como os desvios de forma e posição são medidos. Os requisitos para incerteza de medição estão na faixa de média a alta. As exigências sobre o tempo de medição são altas, já que as medições são geralmente feitas durante o processo.

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