自2005年以来，大量不同类型的设备为具有广泛尺寸和材料的工件提供了计量解决方案。这些设备被用来确定几何特性，并检查裂缝和空洞，例如。在相对较短的时间内测量许多维度是计算机断层扫描的优势之一。快速的初始采样，从而快速的产品验证，降低了工艺成本。强大的软件和硬件解决方案还允许CT设备用于高通量过程监测。
