研磨蠕虫通常很大，重量达60 kg，由几何上不确定的切削刃和多晶体表面组成。除了轮廓形状和间距外，角度、半径和距离也可直接在研磨蜗杆上或进给券上测量。其他参数有晶粒大小、晶粒突起和地表的接触比。公差约为20 µm，对测量的不确定性要求很高。测量时间起着从属的作用。在测量中必须考虑到部分高反射、部分透明的表面。
