As espessuras de revestimentos que podem ser penetradas por luz desde a gama visível até à gama de infravermelhos podem ser medidas com o sensor Chromatic Focus Point, o sensor Chromatic Focus Line e o multisensor Chromatic Focus Zoom (cabeça de medição ótica patenteada com processamento de imagem integrado e sensor de distância cromática). Com os sensores de ponto CFP e CFZ, a espessura do revestimento pode ser medida especificamente em diferentes posições na peça de trabalho ou como uma varredura de contorno com uma alta densidade de pontos em toda a superfície da peça de trabalho. O varrimento linear do CFL resulta em vantagens de velocidade durante a medição, em comparação com o CFP e o CFZ. O volume entre as interfaces também pode ser calculado.
Com o princípio interferométrico, a gama de espessuras de revestimento mensuráveis situa-se entre 5 µm e 150 µm quando se utiliza luz visível e entre 30 µm e 10.500 µm quando se utiliza radiação infravermelha. Na medição cromática, para além das medições "in image" na gama de medição do sensor, ou seja, sem deslocar os eixos do aparelho, a gama de medição pode ser aumentada através de medições "on image" com o correspondente reajustamento dos eixos do aparelho. Os resultados da medição dependem do índice de refração dos materiais, pelo que este deve ser conhecido com muita precisão. Outra opção é calibrar diretamente a espessura do revestimento utilizando outros métodos metrológicos, tais como Werth Fiber Probe® ou tomografia computorizada.
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