Snelle meting van coatingdikte met chromatische sensor

Met de Chromatic Focus Point (CFP) sensor, de Chromatic Focus Line (CFL) sensor en de multisensor Chromatic Focus Zoom (gepatenteerde optische tasterkop met geïntegreerde beeldverwerking en chromatische afstandssensor) kan de dikte worden gemeten van coatings die kunnen worden doordrongen met licht van het zichtbare tot het infrarode bereik. Met de CFP en CFZ puntsensoren kan de laagdikte specifiek worden gemeten op diverse posities op het onderdeel of als contourscan met hoge puntdichtheid op het gehele onderdeeloppervlak. De lijnaftasting van de CFL resulteert in snelheidsvoordelen bij de meting in vergelijking met CFP en CFZ. Ook het volume tussen materiaalgrenzen kan worden berekend.
Met het interferometrische principe ligt het meetbare coatingdiktebereik tussen 5 μm en 150 μm bij gebruik van zichtbaar licht, en tussen 30 μm en 10500 μm bij gebruik van infraroodstraling. Bij chromatische metingen kan naast "in het beeld" metingen in het meetbereik van de sensor, d.w.z. zonder beweging van de machine-assen, het meetbereik worden vergroot door "op het beeld" metingen met overeenkomstige bijstelling van de machine-assen. De meetresultaten zijn afhankelijk van de brekingsindex van de materialen, zodat deze zeer nauwkeurig bekend moet zijn. Een andere mogelijkheid is de directe kalibratie van de laagdikte met behulp van andere meetmethoden zoals Werth Fiber Probe® of computertomografie.

Typische toepassingen voor laagdiktemetingen zijn dunne glasplaten, folies, luchtspleten, verfdiktes, beschermende coatings op elektronische componenten, wafers, membranen van luidsprekers of ballonkatheters.