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Nano Focus Probe NFP

Sensor confocal de alta precisão

Vantagens

Com o Nano Focus Probe, a superfície da peça de trabalho pode ser capturada como uma nuvem de pontos 3D e as dimensões, forma, posição e rugosidade das microestruturas podem ser analisadas. A supressão da luz dispersa permite uma medição 3D fiável da topografia, mesmo em superfícies reflectoras com desvios de sondagem na gama dos sub-micrometros. O sensor ótico confocal também fornece bons resultados em flancos íngremes com grandes ângulos de inclinação.

Aceite "Outro" nas definições para ver este vídeo. Outras vantagens

Várias lentes permitem que o sensor seja adaptado à respectiva tarefa
O sensor pode ser utilizado em todo o volume de medição da máquina de medição por coordenadas e os resultados da medição podem ser ligados no mesmo sistema de coordenadas
Uma superfície global pode ser calculada a partir de várias nuvens de pontos parciais vizinhas, praticamente sem perda de precisão

Dados técnicos

Ótico-axial (microscopia confocal)

Medição in-picture com eixo de medição Z integrado 250 µm

Desvio de apalpação admissível até 0,15 µm

Ao mover a cabeça de medição com a) iluminação, b) câmara, c) abertura de pinhole e d) ótica de imagem em relação à peça de trabalho e), a intensidade dos pontos de luz f), g) é variada por desfocagem. A sobreposição dos pontos de luz desfocados f) é evitada através da utilização de grandes distâncias g). Muitos pontos de medição na superfície da peça de trabalho são determinados simultaneamente com base na curva de intensidade