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世界上精度最高的新一代多传感器三坐标测量机

世界上最精确的多传感器三坐标测量机

莱茵河谷研究与创新中心 RhySearch 高精密和超精密制造部门负责人 Thomas Liebrich 博士说:"为了评估我们生产的形状、尺寸和位置公差低至亚微米范围的高精密和超精密工件,我们依靠极其精确但也非常灵活的测量技术。例如,我们测量由各种材料制成的工件– ,从脆性硬质材料到非常敏感的– ,以及从反光到亚光的不同表面。

有了 VideoCheck® UA,高精度传感器的潜力就能得到充分发挥。Werth Messtechnik 可能是此类传感器中选择最多的,如专利产品Werth Fiber Probe® 3D 、色度聚焦点传感器或Werth Interferometer Probe 。位于布赫斯的应用科学大学 OST 生产计量能力中心主任 Michael Marxer 教授说:"有了 Werth VideoCheck® UA,我们就可以在一台测量设备上使用大量的触觉和光学传感器,从而以最佳方式完成各种超精密测量任务。我们可以在高速测量的情况下实现最小的测量不确定度"。

 

世界上最精确的多传感器三坐标测量机

对于 VideoCheck® UA 的最小长度测量和探测偏差而言,许多标准都不够精确

采用新的精度优化设计后,Euni 的 MPE 已降至 (0.15 + L/2000) μm(可选)。新设备改进了与环境振动的解耦,提高了长期温度稳定性,因此对传感器偏移的影响最小,从而提高了多传感器测量中的测量不确定性。这进一步提高了精度,尤其是在同一参考系统中使用多个传感器进行耗时的多点测量时。Marxer 说:"VideoCheck® UA 使我们能够经济地测量工件,并在要求最高的新应用领域高精度地校准标准。结合用户友好型软件,该设备是我们的通用工具,超出了我们的高要求"。

 

世界上最精确的多传感器三坐标测量机

位于瑞士布赫斯的瑞士东部应用科学大学 OST 生产计量能力中心测量实验室中的 RhySearch 公司的 VideoCheck® UA 具有高精度的色度聚焦点传感器、带 Werth 多传感器系统的图像处理传感器(用于适配传统测头)、获得专利的微型测头Werth Fiber Probe® 3D 以及同样获得专利的可旋转式Werth Interferometer Probe (左起

改进后的设备概念以温度稳定的组件、优化的热循环、组件的主动冷却和扩展的软件温度补偿为特征。Liebrich 说:"在Werth Messtechnik ,我们找到了这样一个合作伙伴,它不仅能通过各种传感器技术满足我们的高要求,还能通过各种优化措施不断改进其多传感器三坐标测量机。我们非常感谢与Werth Messtechnik 团队进行的开放和建设性对话。"
改进 VideoCheck® UA 规格的其他先决条件是新程序和校准软件修正时的最大谨慎,例如实现热平衡的精确规格。许多标准都不够精确,无法证明 VideoCheck® UA 上的高精度传感器具有较低的尺寸和形状偏差。例如,必须为Werth Fiber Probe® 3D 制作一个特殊的超精密球体。

 

世界上最精确的多传感器三坐标测量机

测试球在测量体积中五个不同位置的多传感器位置偏差。在每种情况下,根据 DIN ENISO 10360 标准设计(上)和精度优化设计(下)的 VideoCheck® UA,确定在相同测试球上使用不同传感器测量的中心点偏差。

世界上最精确的多传感器三坐标测量机

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