通过使用高功率传输目标，这些光源即使在高功率下也能提供几微米的焦斑尺寸。这使他们的测量速度比使用反射目标的来源快五倍。由于高达300 kV的加速电压，即使是密集和较大的工件或组件也能在很短的时间内以高分辨率进行测量。
通过使用高功率传输目标，这些光源即使在高功率下也能提供几微米的焦斑尺寸。这使他们的测量速度比使用反射目标的来源快五倍。由于高达300 kV的加速电压，即使是密集和较大的工件或组件也能在很短的时间内以高分辨率进行测量。
最高可达300 kV
最高为80 W
