使用传统的三角测量传感器,测量结果在很大程度上取决于结构和表面的倾斜角度。这导致了相对较大的测量不确定性,这只允许传感器用于不太精确的测量任务。使用集成在Werth Zoom光束路径中的Foucault激光传感器WLP(专利),可以取得更好的效果。这特别适用于快速测量倾斜达80°的表面或相应的弯曲表面的平面度。
使用传统的三角测量传感器,测量结果在很大程度上取决于结构和表面的倾斜角度。这导致了相对较大的测量不确定性,这只允许传感器用于不太精确的测量任务。使用集成在Werth Zoom光束路径中的Foucault激光传感器WLP(专利),可以取得更好的效果。这特别适用于快速测量倾斜达80°的表面或相应的弯曲表面的平面度。
光轴(福柯切削刃)
允许的探测偏差达0,75 µm
由于激光束的不对称性,a)通过使用傅氏切削刃b),漫反射的光线打在差分二极管的不同位置c),由此确定到工件表面的距离d)。一个分光镜e)用于将激光束整合到图像处理传感器f)(照明未显示)。