VideoCheck® HA 是 VideoCheck® FB 的高精度版本,也可配备多个独立的传感器轴。在获得专利的光栅扫描高清操作模式下,移动过程中捕捉到的单个图像会叠加形成一个分辨率高达 20,000 万像素的整体图像,从而实现高精度的快速 "画中 "测量。VideoCheck® HA 也是其他高精度传感器(如获得专利的Werth Fiber Probe® )的理想选择,具有广泛的应用范围。可获得半导体行业的 SEMI 认证。
VideoCheck® HA 是 VideoCheck® FB 的高精度版本,也可配备多个独立的传感器轴。在获得专利的光栅扫描高清操作模式下,移动过程中捕捉到的单个图像会叠加形成一个分辨率高达 20,000 万像素的整体图像,从而实现高精度的快速 "画中 "测量。VideoCheck® HA 也是其他高精度传感器(如获得专利的Werth Fiber Probe® )的理想选择,具有广泛的应用范围。可获得半导体行业的 SEMI 认证。
带固定龙门的高精度三维数控多传感器三坐标测量机
X = 400 (530) mm 至 1000 (1130) mm, Y = 400 mm 至 2000 mm, Z = 300 mm 至 600 mm
允许的长度测量偏差达0,25 µm