VideoCheck® HA avec certification SEMI

Le VideoCheck® HA permet d'effectuer le contrôle mesure de pièces de précision avec des tolérances de l'ordre du micron et 3D-micro-géométries même sur des pièces de grande taille. Le appareil dispose d'un concept unique avec jusqu'à trois axes de capteurs indépendants pour des mesures rapides multisensor sans restriction. Dans le mode de fonctionnement breveté Rasterscanning HD, les images individuelles prises pendant le mouvement sont superposées pour former un image globale à haute résolution. Cela permet par exemple de mesurer automatiquement de grandes plaques comportant des milliers de petits trous. Le image globale a un résolution pouvant atteindre 20 000 mégapixels (environ 140 000 × 140 000 pixels pour une taille de pixel de 5 µm).
Les directives de l'organisation SEMI prennent de plus en plus d'importance dans le monde et doivent être évaluées par un tiers indépendant. En Allemagne, cette certification peut être effectuée par le TÜV (Technischer Überwachungsverein). Pour ce faire, le VideoCheck® HA a été adapté aux directives internationales en matière d'environnement, de santé et de sécurité pour les installations de fabrication de semi-conducteurs et équipé des accessoires nécessaires. Les directives SEMI contiennent des prescriptions détaillées, notamment en ce qui concerne la conception électrique et sa résistance aux interférences, mais aussi la mécanique construction, la protection contre le rayonnement et le bruit ainsi que l'ergonomie. Un capot spécial anti-incendie réduit par exemple la charge d'incendie. Un ancrage au sol sert à la protection contre les tremblements de terre et stabilise, en cas de besoin, le appareil installé sur des amortisseurs de vibrations. Des barrières lumineuses garantissent l'arrêt de l'appareil ou le fonctionnement des axes de l'appareil à des vitesses sûres en cas d'entrée dans le couloir de sécurité.