VideoCheck® HA z certyfikatem SEMI

VideoCheck® HA umożliwia pomiar precyzyjnych elementów z tolerancjami w zakresie mikrometrów i mikrogeometrii 3D, nawet na dużych elementach. Urządzenie posiada unikalną koncepcję z maksymalnie trzema niezależnymi osiami czujników do szybkich pomiarów wieloczujnikowych bez ograniczeń. W opatentowanym trybie pracy Raster Scanning HD poszczególne obrazy rejestrowane podczas ruchu są nakładane na siebie, tworząc ogólny obraz o wysokiej rozdzielczości. Na przykład, duże panele z tysiącami małych otworów mogą być mierzone automatycznie. Ogólny obraz ma rozdzielczość do 20 000 megapikseli (około 140 000 × 140 000 pikseli o rozmiarze piksela 5 µm).
Wytyczne organizacji SEMI stają się coraz ważniejsze na całym świecie i muszą być oceniane przez niezależną stronę trzecią. W Niemczech taka certyfikacja może być przeprowadzona przez TÜV (Technischer Überwachungsverein). W tym celu VideoCheck® HA został dostosowany do międzynarodowych wytycznych dotyczących ochrony środowiska, zdrowia i bezpieczeństwa w zakładach produkujących półprzewodniki i wyposażony w niezbędne akcesoria. Wytyczne SEMI zawierają szczegółowe specyfikacje, w szczególności dotyczące konstrukcji elektrycznej i odporności na zakłócenia, ale także konstrukcji mechanicznej, ochrony przed promieniowaniem i hałasem oraz ergonomii. Na przykład specjalna osłona przeciwpożarowa zmniejsza obciążenie ogniowe. Kotwienie podłogowe służy do ochrony przed trzęsieniami ziemi i stabilizuje urządzenie ustawione na tłumikach drgań w przypadku awarii. Bariery świetlne zapewniają zatrzymanie urządzenia lub pracę osi urządzenia z bezpieczną prędkością podczas wchodzenia do korytarza bezpieczeństwa.