VideoCheck® HA com certificação SEMI

O VideoCheck® HA permite a medição de peças de precisão com tolerâncias na faixa de micrômetros e microgeometrias 3D, mesmo em peças grandes. O dispositivo tem um conceito exclusivo com até três eixos de sensores independentes para medições rápidas e sem limitações com vários sensores. No modo de operação patenteado Raster Scanning HD, as imagens individuais capturadas durante o movimento são sobrepostas para formar uma imagem geral de alta resolução. Por exemplo, grandes painéis com milhares de pequenos orifícios podem ser medidos automaticamente. A imagem geral tem uma resolução de até 20.000 megapixels (aproximadamente 140.000 × 140.000 pixels com um tamanho de pixel de 5 µm).
As diretrizes da organização SEMI estão se tornando cada vez mais importantes em todo o mundo e devem ser avaliadas por um terceiro independente. Na Alemanha, essa certificação pode ser realizada pela TÜV (Technischer Überwachungsverein). Para esse fim, o VideoCheck® HA foi adaptado às diretrizes internacionais de meio ambiente, saúde e segurança para instalações de produção de semicondutores e equipado com os acessórios necessários. As diretrizes da SEMI contêm especificações detalhadas, principalmente para o projeto elétrico e a imunidade a interferências, mas também para o projeto mecânico, a proteção contra radiação e ruído e a ergonomia. Um capô especial de proteção contra incêndio, por exemplo, reduz a carga de incêndio. A ancoragem no piso é usada para proteção contra terremotos e estabiliza o dispositivo instalado em amortecedores de vibração em caso de emergência. Barreiras de luz garantem que o dispositivo seja parado ou que os eixos do dispositivo sejam operados em velocidades seguras ao entrar no corredor de segurança.