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Neues zur Multisensorik

Sicherheit für Mensch und Umwelt

VideoCheck® HA mit SEMI-Zertifizierung

Mit Längenmessabweichungen von MPE Euni bis zu (0,25 + L/900) µm bzw. (0,15 + L/2000) µm sind der VideoCheck® HA und der VideoCheck® UA die weltweit genauesten Multisensor-Koordinatenmesssysteme. Für den Einsatz der Geräte in der Nano- und Mikroelektronikherstellung gibt der Branchenverband SEMI (Semiconductor Equipment and Materials International) internationale Sicherheitsstandards heraus.

Der VideoCheck® HA ermöglicht die Messung von Präzisionswerkstücken mit Toleranzen im Mikrometerbereich und 3D-Mikrogeometrien auch an großen Werkstücken. Das Gerät verfügt über ein einzigartiges Konzept mit bis zu drei unabhängigen Sensorachsen für schnelle Multisensor-Messungen ohne Einschränkung. In der patentierten Betriebsart Rasterscanning HD werden während der Bewegung aufgenommene Einzelbilder zu einem hochaufgelösten Gesamtbild überlagert. So können beispielsweise große Platten mit Tausenden kleiner Bohrungen automatisch gemessen werden. Das Gesamtbild hat eine Auflösung von bis zu 20 000 Megapixeln (ca. 140 000 × 140 000 Pixel bei einer Pixelgröße von 5 µm).
Die Richtlinien der SEMI-Organisation nehmen weltweit einen immer höheren Stellenwert ein und müssen durch einen unabhängigen Dritten bewertet werden. In Deutschland kann diese Zertifizierung durch den TÜV (Technischer Überwachungsverein) erfolgen. Hierfür wurde der VideoCheck® HA an die internationalen Umwelt-, Gesundheits- und Sicherheitsrichtlinien für Halbleiterfertigungsanlagen angepasst und mit dem notwendigen Zubehör ausgestattet. Die SEMI-Richtlinien enthalten detaillierte Vorgaben insbesondere zur elektrischen Auslegung und deren Störfestigkeit, aber auch zur mechanischen Konstruktion, zu Strahlungs- und Schallschutz sowie Ergonomie. Eine spezielle Brandschutz-Haube reduziert zum Beispiel die Brandlast. Eine Bodenverankerung dient dem Erdbebenschutz und stabilisiert im Fall der Fälle das auf Schwingungsdämpfern aufgestellte Gerät. Lichtschranken gewährleisten bei Eintritt in den Sicherheitskorridor einen Gerätestopp oder den Betrieb der Geräteachsen mit sicheren Geschwindigkeiten.

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