VideoCheck® HA met SEMI-certificering

Met de VideoCheck® HA is meting mogelijk van precisiewerkstukken met toleranties in het micrometerbereik en 3D-micro-geometrie zelfs op grote werkstukken. De machine heeft een uniek concept met maximaal drie onafhankelijke sensorassen voor snelle multisensor metingen zonder beperkingen. In de gepatenteerde Raster Scanning HD modus worden individuele beelden die tijdens de beweging zijn vastgelegd, over elkaar heen gelegd om een hoge-resolutie totaalbeeld te vormen. Zo kunnen bijvoorbeeld grote panelen met duizenden kleine gaatjes automatisch worden gemeten. De totaalbeeld heeft een resolutie van maximaal 20.000 megapixels (ca. 140.000 × 140.000 pixels met een pixelgrootte van 5 µm).
De richtlijnen van de SEMI organisatie worden wereldwijd steeds belangrijker en moeten worden beoordeeld door een onafhankelijke derde partij. In Duitsland kan deze certificering worden uitgevoerd door TÜV (Technischer Überwachungsverein). Voor dit doel is de VideoCheck® HA aangepast aan de internationale milieu-, gezondheids- en veiligheidsrichtlijnen voor halfgeleiderproductiefaciliteiten en voorzien van de benodigde accessoires. De SEMI-richtlijnen bevatten gedetailleerde specificaties, met name voor elektrisch ontwerp en immuniteit voor interferentie, maar ook voor mechanische ontwerp, bescherming tegen straling en geluid en ergonomie. Een speciale brandwerende motorkap vermindert bijvoorbeeld de vuurbelasting. Vloerverankering wordt gebruikt voor bescherming tegen aardbevingen en stabiliseert de machine, die is gemonteerd op trillingsdempers, mocht het ergste gebeuren. Lichtschermen zorgen ervoor dat het apparaat stopt of de assen van het apparaat op veilige snelheid worden bediend als de veiligheidsgang wordt betreden.